熱式氣體質(zhì)量流量控制器  AC-S030C

氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位：SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）、SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）
標(biāo)準(zhǔn)狀況：溫度--293.15K(20℃)
壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
型號 AC-S030C
流量規(guī)格（氮?dú)猓?10SCCM-30SLM
控制量程 2%-100 %
精度 ≤±1.0%F.S
線性 ≤±0.5%F.S
重復(fù)性 ≤±0.2%F.S
閥門類型 常閉閥
響應(yīng)時(shí)間 1-3sec
耐壓 ≤0-50Bar
通信信號 0-5V/4-20mA
供電方式 15VDC or 24VDC (300mA)
泄漏率 1×10-9atm. cc/sec He
熱式氣體質(zhì)量流量控制器  AC-S030C

應(yīng)用行業(yè)：真空鍍膜設(shè)備、石油化工、航空航天、醫(yī)藥制造業(yè)、火電、核電、天*然*氣加氣站、太陽能、 液晶面板制造半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)與化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、食品科學(xué)與工程設(shè)備、能源與環(huán)境保護(hù)設(shè)
備、各種分析儀器設(shè)備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等行業(yè)的公司